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扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊
caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：320/103  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦  
棱镜-光栅组合色散型超光谱成像系统的优化设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 140-148
作者:  杨增鹏;  唐玉国;  巴音贺希格;  潘明忠;  崔继承;  杨晋
caj(623Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：524/143  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  棱镜-光栅组合  矢量建模  光学设计  体相位全息透射光栅  
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：338/98  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差