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扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊
caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：319/102  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦  
光谱仪中球面聚焦反射镜和凹面全息光栅像差互补的一体化设计 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 6, 页码: 68-77
作者:  赵旭龙;  巴音贺希格;  李文昊;  姜岩秀;  杨硕
caj(409Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：342/166  |  提交时间：2017/09/17
光栅  消像差凹面全息  一体化设计  光栅设计  球面聚焦反射镜  光程函数  
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：335/96  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差  
双光栅切换微型平场全息凹面光栅光谱仪 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 01, 页码: 24-30
作者:  孔鹏;  唐玉国;  巴音贺希格;  齐向东;  李文昊;  崔锦江
caj(633Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：414/132  |  提交时间：2014/03/07
光谱学  光谱仪  衍射光栅  平场  宽光谱  分辨率  通光效率