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一种可双向调节缝宽的狭缝装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2011-12-28
发明人:  倪明阳;  巩岩;  张巍;  赵磊;  王学亮;  袁文全
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一种用于光刻投影物镜安装的调平定位装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-21, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  向阳;  齐克奇
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漫反射板法标定成像光谱仪的精度分析 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 12, 页码: 2828-2836
作者:  张春雷;  向阳
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一种15°视场远心三个反射镜同轴的成像系统 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  刘晓梅;  向阳
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一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  倪明阳;  巩岩;  张巍;  赵磊;  王学亮;  袁文全
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一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  巩岩;  张巍;  倪明阳;  赵磊;  王学亮;  袁文全
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三光栅单色仪标定方法研究 期刊论文
应用光学, 2011, 卷号: 32, 期号: 6, 页码: 1161-1165
作者:  何煦;  向阳;  马军
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Base模式CameraLink接口的数字光端机 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-11-16, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  张岳;  阴玉梅;  杨晓霞;  吴庆林
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深紫外光刻照明系统扩束单元设计 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122004-1
作者:  赵阳;  巩岩;  张巍
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具有实入瞳的远心离轴三反系统研究与设计 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122002-1
作者:  向阳
Adobe PDF(509Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:476/182  |  提交时间:2012/05/11