中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明)
	巩岩; 张巍; 倪明阳; 赵磊; 王学亮; 袁文全
	2011-12-14
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，涉及深紫外光刻机投影物镜镜头制造与装调技术领域。解决了光刻投影物镜镜头的高精度自动装配、检测、调整问题。本发明装置包括Ｚ轴立柱、上检测立柱、上检测头、可动调整平台、气浮转台、水平大理石平台、调整机构、隔振支撑腿和调整平台连接支架；所述Ｚ轴立柱、上检测立柱和气浮转台分别垂直固定在水平大理……
资助项目	102279532A
申请号	201110212283.2
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12000
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	巩岩,张巍,倪明阳,等. 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明)[P]. 2011-12-14.

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CN201110227953200000（590KB）			开放获取	--	浏览 下载

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