一种用于光刻投影物镜安装的调平定位装置 (发明)

	一种用于光刻投影物镜安装的调平定位装置 (发明)
	向阳; 齐克奇
	2011-12-21
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	一种用于光刻投影物镜安装的调平定位装置，属于光刻投影技术领域中涉及的一种调平定位装置。要解决的技术问题是：提供一种用于光刻投影物镜安装的调平定位装置。解决的技术方案包括微调机构和粗调机构，微调机构在上部，粗调机构在下部。微调机构与已有技术的结构相同。粗调机构主要包括三个粗调支腿、三个微调机构限位柱、两个辅助支腿和基座。……
资助项目	102289154A
申请号	201110218870.2
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12007
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	向阳,齐克奇. 一种用于光刻投影物镜安装的调平定位装置 (发明)[P]. 2011-12-21.