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一种可双向调节缝宽的狭缝装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2011-12-28
发明人:  倪明阳;  巩岩;  张巍;  赵磊;  王学亮;  袁文全
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一种用于光刻投影物镜安装的调平定位装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-21, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  向阳;  齐克奇
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一种15°视场远心三个反射镜同轴的成像系统 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  刘晓梅;  向阳
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一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  倪明阳;  巩岩;  张巍;  赵磊;  王学亮;  袁文全
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一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  巩岩;  张巍;  倪明阳;  赵磊;  王学亮;  袁文全
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Base模式CameraLink接口的数字光端机 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-11-16, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  张岳;  阴玉梅;  杨晓霞;  吴庆林
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四幕拼接三维视景仿真方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-10-05, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  崔爽;  李岩;  于国权;  王建军;  杨词银;  路明;  李姜;  于洋;  王思雯
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一种投影物镜系统中光学元件调心装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-24, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  巩岩;  赵磊;  张巍;  倪明阳
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一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-17, 公开日期: 2011-08-17
发明人:  赵磊;  巩岩;  倪明阳;  张巍;  王学亮;  袁文全
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三个反射镜同轴视场角10°的远心离轴三反镜成像系统 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-07-20, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  刘晓梅;  向阳
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