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Design method for an off-axis reflective anamorphic optical system with aberration balance and constraint control 期刊论文
Applied Optics, 2021, 卷号: 60, 期号: 16, 页码: 4557-4566
作者:  Y. Wu;  L. Wang;  X. Zhang;  J. Yu;  B. Yu and C. Jin
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Design method for off-axis aspheric reflective optical system with extremely low aberration and large field of view 期刊论文
Applied Optics, 2020, 卷号: 59, 期号: 32, 页码: 10185-10193
作者:  Y. Wu,L. P. Wang,J. Yu,B. Yu and C. S. Jin
浏览  |  Adobe PDF(4372Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：127/58  |  提交时间：2021/07/06
Active lens for thermal aberration compensation in lithography lens 期刊论文
Applied Optics, 2018, 卷号: 57, 期号: 29, 页码: 8654-8663
作者:  Zhao, L.;  Dong, L. J.;  Yu, X. F.;  Li, P. Z.;  Qiao, Y. F.
浏览  |  Adobe PDF(2985Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：314/106  |  提交时间：2019/09/17
adaptive optics  deformable mirror  performance  simulation  systems  design  Optics  
Numerical simulation and design of an apodized diffractive optical element composed of open-ring zones and pinholes 期刊论文
Applied Optics, 2018, 卷号: 57, 期号: 1, 页码: 25-32
作者:  Liu, T.;  Wang, L. J.;  Zhang, J. Z.;  Fu, Q.;  Zhang, X.
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x-ray microscopy  photon-sieve  resolution  window  plates  Optics  
Extended shift-rotation method for absolute interferometric testing of a spherical surface with pixel-level spatial resolution 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 16
作者:  Liu, Y.;  L. Miao;  W. L. Zhang;  C. S. Jin and H. T. Zhang
浏览  |  Adobe PDF(909Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：327/84  |  提交时间：2018/06/13
Beam drift error and control technology for scanning beam interference lithography 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 14
作者:  Wang, W.;  Y. Song;  S. Jiang;  M. Z. Pan and Bayanheshing
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Low-stress and high-reflectance Mo/Si multilayers for extreme ultraviolet lithography by magnetron sputtering deposition with bias assistance 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 26
作者:  Yu, B.;  C. S. Jin;  S. Yao;  C. Li;  Y. Liu;  F. Zhou;  B. Y. Guo;  H. Wang;  Y. Xie and L. P. Wang
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Computational method for simulation of thermal load distribution in a lithographic lens 期刊论文
Applied Optics, 2016, 卷号: 55, 期号: 15
作者:  Yu, X. F.;  M. Y. Ni;  D. W. Rui;  Y. Qu and W. Zhang
浏览  |  Adobe PDF(972Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：345/87  |  提交时间：2017/09/11