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| 2m SiC反射镜柔性被动支撑系统 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2591-2598
作者: 王富国; 乔兵; 张景旭
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Sic反射镜 柔性 被动支撑系统 Whiffletree A-frame |
| 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者: 张德福 ; 李显凌; 芮大为; 李朋志; 东立剑; 张建国
caj(2036Kb) | 收藏 | 浏览/下载：534/129 | 提交时间：2018/04/09
集成电路 光刻 投影物镜 波像差 调节机构 主动光学 |
| Application of interface preprocessing in opto-mechanical system dynamics analysis and surface shape optimization 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 6
作者: Lan, B.; H.-B. Yang; X.-X. Wu; J.-X. Zhang and X.-Y. Liu
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| Application of generalized least squares method in the calibration of active optics mode 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2017, 卷号: 46, 期号: 6
作者: Lan, B.; X. Wu; H. Yang; Q. Jiang and Z. Zhang
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| Lateral positioning system for large aperture primary mirror 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 10
作者: Yuan, S.; J.-X. Zhang; F.-G. Wang and X.-Y. Liu
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| Active correction of 1.23 m SiC mirror using bending mode 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 10
作者: Zhu, Y.; T. Chen; J.-L. Wang; H.-Z. Li and X.-X. Wu
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| Assembly for large aperture telescope primary mirror support system 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2017, 卷号: 46, 期号: 9
作者: Zhao, Y.; L. Shao; M. Ming; T. Lv and C. Liu
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| Opto-mechanical structure design of visible light rough tracking and imaging lens 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2017, 卷号: 38, 期号: 5
作者: Wang, H.; S. Dai; L. Fan and Y. Zhao
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| Flexible passive support system for 2 m SiC reflective mirror 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 10
作者: Wang, F.-G.; B. Qiao and J.-X. Zhang
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| Secondary mirror supporting structure for 1.2 m telescope 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 10
作者: Zhao, H.-C.; J.-X. Zhang; F. Yang and Q.-C. An
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