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极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  匡尚奇;  李硕;  杨海贵;  霍同林;  周洪军
收藏  |  浏览/下载：172/0  |  提交时间：2019/09/17
多层膜设计  极紫外  离散化设计  宽带多层膜  
2m大口径RB-SiC反射镜的磁控溅射改性 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 7, 页码: 1557-1563
作者:  刘震;  高劲松;  刘海;  王笑夷;  王彤彤
caj(893Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：396/103  |  提交时间：2017/09/17
光学加工  磁控溅射  表面改性  Rb-sic  大口径  
Ge薄膜性能及其在光子计数成像探测器中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 5, 页码: 1143-1149
作者:  李云鹏;  郑鑫;  张宏吉;  王孝东;  陈波;  曹健林
caj(642Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：440/116  |  提交时间：2015/04/17
光子计数成像  磁控溅射  非晶ge薄膜  电荷感应层  
8．0nm附近Mo／B4C软X射线多层膜初步研究 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 05, 页码: 37-41
作者:  吕俊霞;  曹健林
caj(0Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：335/29  |  提交时间：2013/03/12
软x射线  Mo／b4c多层膜  磁控溅射  
用磁控溅射法制备软X射线多层膜 期刊论文
光学精密工程, 1995, 期号: 01, 页码: 16-20
作者:  张俊平;  马月英;  高宏刚;  陈斌;  裴舒;  吕俊霞;  曹健林
caj(162Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：347/51  |  提交时间：2013/03/11
磁控溅射  软x射线多层膜