Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用磁控溅射法制备软X射线多层膜 | |
张俊平; 马月英; 高宏刚; 陈斌 ; 裴舒; 吕俊霞; 曹健林
| |
| 1995-02-28 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 01页码:16-20 |
| 关键词 | 磁控溅射 软x射线多层膜 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30777 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张俊平,马月英,高宏刚,等. 用磁控溅射法制备软X射线多层膜[J]. 光学精密工程,1995(01):16-20. |
| APA | 张俊平.,马月英.,高宏刚.,陈斌.,裴舒.,...&曹健林.(1995).用磁控溅射法制备软X射线多层膜.光学精密工程(01),16-20. |
| MLA | 张俊平,et al."用磁控溅射法制备软X射线多层膜".光学精密工程 .01(1995):16-20. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 用磁控溅射法制备软X射线多层膜.caj（162KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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