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| Development of 1032 mm optical window for shipboard photoelectric tracking system 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 9
作者: Yang, L.-B.; Y.-H. Li; Y.-B. Cao; Y. Chen; J.-J. Xie; G.-Q. Shi and L. Zhang
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| Optical design of high-numerical aperture lithographic lenses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 4
作者: Xu, M.-F.; W.-B. Pang; X.-R. Xu; X.-H. Wang and W. Huang
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| Compensation effect of radial preload on mirror deformation caused by gravity 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 4
作者: Jia, S.; W. Huang; X. Xu and C. Yao
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| Sub-nanometer precision optical fabrication of CaF2materials 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 11
作者: Zhang, C.-L. ; L. Xu; J. Liu; Z.-L. Ma; F. Wang; Y.-Q. Gu; L. Dai and S.-J. Peng
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| Research on deformation and aberration of active plate used in lithographic objective 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 4
作者: Yao, C. and Y. Gong
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| Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 1297-1303
作者: Han, D.-S.; X. He; Z.-H. Wei and Y.-M. Li
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| 光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 代晓珂
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光学检测 极紫外光刻 波面参考源 偏振控制 |
| 棱镜-光栅型光谱成像技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 陈洪福
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光学设计 成像光谱仪 P-g P-g-p 谱线弯曲 体全息相位光 |
| 深紫外光学薄膜激光辐照特性研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 赵灵
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深紫外 光学薄膜 吸收 激光量热法 |
| S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 赵菲菲
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计算机辅助装调 S-h波前传感器 投影光刻物镜 质心探测精度 阈值选取 |
