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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
 caj(6271Kb) |  收藏 | 浏览/下载：162/0 | 提交时间：2020/08/24
光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 方超
caj(4184Kb) | 收藏 | 浏览/下载：283/0 | 提交时间：2019/09/23
系统波像差 光栅横向剪切干涉 相位复原算法 零级串扰误差 重复精度 |
| 基于衍射光学元件的多波前横向剪切干涉方法研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 崔博川
caj(5675Kb) | 收藏 | 浏览/下载：295/0 | 提交时间：2019/09/23
波前探测 相位光栅 波前重建 干涉图去噪 温度场测量 |
| 四棱锥波前传感技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 张彦夫
Adobe PDF(2185Kb) | 收藏 | 浏览/下载：446/2 | 提交时间：2015/05/03
自适应光学 波前传感 四棱锥传感器 数值仿真 |
| 差分五棱镜扫描法在大口径波前检测中的应用 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 汤兆鑫
Adobe PDF(5705Kb) | 收藏 | 浏览/下载：371/2 | 提交时间：2015/05/03
测量 波前检测 差分五棱镜扫描法 误差分析 |
| 基于焦面图像信息的波前探测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 马鑫雪
Adobe PDF(2716Kb) | 收藏 | 浏览/下载：400/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 赵菲菲
Adobe PDF(2200Kb) | 收藏 | 浏览/下载：412/1 | 提交时间：2014/03/15
计算机辅助装调 S-h波前传感器 投影光刻物镜 质心探测精度 阈值选取 |
| 基于FPGA的SPGD自适应光学控制平台研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 张超
Adobe PDF(2450Kb) | 收藏 | 浏览/下载：275/1 | 提交时间：2014/03/15
Spgd 自适应光学 Fpga 硬件设计 |
| 自适应光学波前处理器算法研究与系统优化 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 赵雨菲
Adobe PDF(2464Kb) | 收藏 | 浏览/下载：468/1 | 提交时间：2014/03/15
图像处理 自适应光学 波前处理算法 Fpga |
| 液晶自适应光学技术的工程化研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者: 穆全全
Microsoft Word(13640Kb) | 收藏 | 浏览/下载：344/3 | 提交时间：2013/02/28 |
