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| Analysis of ArF excimer laser system discharge characteristics in different buffer gases 期刊论文
Acta Physica Sinica, 2020, 卷号: 69, 期号: 17, 页码: 8
作者: Q. Wang, J. S. Zhao, Y. Y. Fan, X. Guo and Y. Zhou
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| Transmission Mode Measurement Technique of Long Period Grating Based on A Single End Face 期刊论文
Faguang Xuebao/Chinese Journal of Luminescence, 2017, 卷号: 38, 期号: 8
作者: Li, Q.-S. ; D. Xiang; C. Chen; J.-G. Shi; X.-T. Ji; X.-T. Li and W.-F. Dong
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| Optical design of high-numerical aperture lithographic lenses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 4
作者: Xu, M.-F.; W.-B. Pang; X.-R. Xu; X.-H. Wang and W. Huang
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| 光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 代晓珂
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光学检测 极紫外光刻 波面参考源 偏振控制 |
| 深紫外光学薄膜激光辐照特性研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 赵灵
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深紫外 光学薄膜 吸收 激光量热法 |
| 共聚焦显微镜控制系统研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 苗舒越
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激光扫描共聚焦显微镜 控制系统 Arm Fpga 扫描振镜 信号采集 光谱成像 |
| P偏振ArF准分子激光大角度减反射薄膜的研究与制备 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 靳京城
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| 超高精度非球面面形检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 高松涛
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| 实用化激光电视中的共性技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 付瀚毅
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| ArF准分子激光高反射薄膜技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 常艳贺
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