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| 大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计 期刊论文 仪器仪表学报, 2015, 期号: 02, 页码: 473-480 作者: 糜小涛; 于宏柱; 高键翔; 于海利; 张善文; 齐向东 caj(515Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:308/93  |  提交时间:2016/07/06 微定位系统 控制器设计 数学模型 定位精度 |
| Active control technology to correct the quality of the grating wave-front 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 1 作者: Yang, C.; H. Yu; S. Zhang; H. Yu; X. Li and Y. Tang Adobe PDF(1479Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:353/104  |  提交时间:2016/08/24 |
| Design of the controller of the micro-positioning system for large diffraction grating ruling engine 期刊论文 Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 473-480 作者: Mi, X.; H. Yu; J. Gao; H. Yu; S. Zhang and X. Qi 浏览  |  Adobe PDF(672Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:364/95  |  提交时间:2016/08/24 |
| 压电陶瓷驱动精密摆镜控制系统的研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 赵广义 Adobe PDF(1437Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:508/2  |  提交时间:2015/05/03 压电陶瓷 两维摆镜 动态迟滞模型 前馈pid 控制 |
| 压电陶瓷系统迟滞非线性建模与控制的研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2013 作者: 孙孔政 Adobe PDF(2255Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:378/3  |  提交时间:2014/03/15 压电陶瓷 迟滞特性 Duhem模型 逆补偿 Labview Fpga |
| 一维压电式微定位机构的设计研究 期刊论文 微细加工技术, 2006, 期号: 3 作者: 孙宝玉; 刘虹; 梁淑卿 caj(89Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:424/79  |  提交时间:2012/09/25 微定位机构 压电陶瓷 柔性铰链 数字闭环控制 |
| 压电微定位系统的纳米分辨率线性化控制 期刊论文 仪器仪表学报, 1999, 期号: 01, 页码: 92-93+108 作者: 吴一辉; 杨宜民 caj(56Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:356/57  |  提交时间:2013/03/12 压电定位 电荷控制 谐波线性化 |