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大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 02, 页码: 473-480
作者:  糜小涛;  于宏柱;  高键翔;  于海利;  张善文;  齐向东
caj(515Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：312/96  |  提交时间：2016/07/06
微定位系统  控制器设计  数学模型  定位精度  
Active control technology to correct the quality of the grating wave-front 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 1
作者:  Yang, C.;  H. Yu;  S. Zhang;  H. Yu;  X. Li and Y. Tang
Adobe PDF(1479Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：361/107  |  提交时间：2016/08/24
Design of the controller of the micro-positioning system for large diffraction grating ruling engine 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 473-480
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  J. Gao;  H. Yu;  S. Zhang and X. Qi
Adobe PDF(672Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：368/96  |  提交时间：2016/08/24
一维压电式微定位机构的设计研究 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 3
作者:  孙宝玉;  刘虹;  梁淑卿
caj(89Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：430/80  |  提交时间：2012/09/25
微定位机构  压电陶瓷  柔性铰链  数字闭环控制  
压电微定位系统的纳米分辨率线性化控制 期刊论文
仪器仪表学报, 1999, 期号: 01, 页码: 92-93+108
作者:  吴一辉;  杨宜民
caj(56Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：361/57  |  提交时间：2013/03/12
压电定位  电荷控制  谐波线性化