Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 直流反应磁控溅射在氮化的蓝宝石衬底上制备AlN薄膜(英文) | |
王新建; 宋航 ; 黎大兵; 蒋红; 李志明; 缪国庆; 孙晓娟; 陈一仁; 贾辉
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| 2012-02-15 | |
| 发表期刊 | 发光学报
 |
| 期号 | 02页码:227-232 |
| 关键词 | 晶体结构 光吸收 表面形貌 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28256 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王新建,宋航,黎大兵,等. 直流反应磁控溅射在氮化的蓝宝石衬底上制备AlN薄膜(英文)[J]. 发光学报,2012(02):227-232. |
| APA | 王新建.,宋航.,黎大兵.,蒋红.,李志明.,...&贾辉.(2012).直流反应磁控溅射在氮化的蓝宝石衬底上制备AlN薄膜(英文).发光学报(02),227-232. |
| MLA | 王新建,et al."直流反应磁控溅射在氮化的蓝宝石衬底上制备AlN薄膜(英文)".发光学报 .02(2012):227-232. |
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