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大口径望远镜的高分辨成像技术 期刊论文
物理, 2020, 卷号: 49, 期号: 03, 页码: 164-173
作者:  穆全全;  彭增辉;  宣丽
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大口径望远镜  液晶  自适应光学  
光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  代晓珂
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光学检测  极紫外光刻  波面参考源  偏振控制  
一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110449616.3, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
发明人:  张海涛;  于杰;  马冬梅;  金春水
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离轴非球面CGH高精度检测技术 期刊论文
光学精密工程, 2011, 期号: 03, 页码: 528
作者:  黎发志;  罗霄;  赵晶丽;  薛栋林;  郑立功;  张学军
caj(128Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：441/80  |  提交时间：2013/03/11
离轴非球面:7858  高精度定位:3574  面形检验:2687  非球面反射镜:2106  自由曲面:1987  光学检测:1845  技术实现:1488  检测技术:1204  光路:1179  对准:1178