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一种光刻机投影物镜镜片的支撑装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: ZL201110212311.0, 申请日期: 2013-04-17, 公开日期: 2014-03-11
发明人:  倪明阳,巩岩,张巍,赵磊,王学亮,袁文全
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一种光刻机投影物镜微调平机构 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-25, 公开日期: 2012-07-25
发明人:  向阳;  齐克奇
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一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13
发明人:  倪明阳;  巩岩;  张巍;  赵阳;  赵磊
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一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  倪明阳;  巩岩;  张巍;  赵磊;  王学亮;  袁文全
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一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  巩岩;  张巍;  倪明阳;  赵磊;  王学亮;  袁文全
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一种圆柱面光栅光刻刻划机 (实用新型) 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2005-02-02, 公开日期: 2005-02-02
发明人:  陈贇;  朱应时
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一种光刻投影物镜微调平机构 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-12
发明人:  向阳;  齐克奇
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