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| 一种光刻机投影物镜镜片的支撑装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: ZL201110212311.0, 申请日期: 2013-04-17, 公开日期: 2014-03-11 发明人: 倪明阳,巩岩,张巍,赵磊,王学亮,袁文全 Adobe PDF(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:353/58  |  提交时间:2014/03/11 |
| 一种光刻机投影物镜微调平机构 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-25, 公开日期: 2012-07-25 发明人: 向阳; 齐克奇 Adobe PDF(511Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:542/112  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13 发明人: 倪明阳; 巩岩; 张巍; 赵阳; 赵磊 Adobe PDF(639Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:628/47  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 倪明阳; 巩岩; 张巍; 赵磊; 王学亮; 袁文全 Adobe PDF(479Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:479/60  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 巩岩; 张巍; 倪明阳; 赵磊; 王学亮; 袁文全 Adobe PDF(590Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:689/77  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种圆柱面光栅光刻刻划机 (实用新型) 专利 专利类型: 实用新型, 申请日期: 2005-02-02, 公开日期: 2005-02-02 发明人: 陈贇; 朱应时 Adobe PDF(362Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:459/90  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种光刻投影物镜微调平机构 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-12 发明人: 向阳; 齐克奇 Adobe PDF(513Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:582/50  |  提交时间:2014/03/12 |