Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种圆柱面光栅光刻刻划机 (实用新型) | |
| 陈贇; 朱应时 | |
| 2005-02-02 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2005-02-02 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 摘要 | 本实用新型公开一种圆柱面光栅光刻刻划机，属于光学精密刻划技术领域中涉及的一种圆柱面光栅光刻刻划机，本实用新型要解决的技术问题是：提供一种圆柱面光栅光刻刻划机。解决技术问题的技术方案是：包括床身、传动系统、分度机构和曝光系统。该机是在原来平面光栅光刻机的基础上，继续采用原来的床身、分度机构，对传动系统作了少许的改动，重新…… |
| 资助项目 | 2676244 |
| 申请号 | 200420011463.X |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12394 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈贇,朱应时. 一种圆柱面光栅光刻刻划机 (实用新型)[P]. 2005-02-02. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200500267624400000（362KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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