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| 一种可双向调节缝宽的狭缝装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2011-12-28
发明人: 倪明阳 ; 巩岩; 张巍; 赵磊; 王学亮; 袁文全
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| 一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 倪明阳; 巩岩; 张巍; 赵磊; 王学亮; 袁文全
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| 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 巩岩; 张巍; 倪明阳; 赵磊; 王学亮; 袁文全
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| CCGA器件的可靠性组装及力学加固工艺 期刊论文
电子工艺技术, 2011, 期号: 06, 页码: 349-352
作者: 张伟; 孙守红; 孙慧
caj(1409Kb) | 收藏 | 浏览/下载：506/121 | 提交时间：2013/03/11
陶瓷柱栅阵列 加固 可靠性 组装工艺 |
| 深紫外光刻照明系统扩束单元设计 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122004-1
作者: 赵阳; 巩岩; 张巍
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| 高精度物镜波纹管致动器的线性分析 期刊论文
光子学报, 2011, 期号: 10, 页码: 1526-1530
作者: 袁文全; 巩岩; 张巍; 王学亮; 倪明阳; 赵磊
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| 高精度物镜波纹管致动器的线性度分析 期刊论文
光子学报, 2011, 期号: 10, 页码: 1526-1530
作者: 袁文全; 巩岩; 张巍; 王学亮; 倪明阳; 赵磊
caj(445Kb) | 收藏 | 浏览/下载：481/142 | 提交时间：2013/03/11
高精度物镜 气动 波纹管 几何非线性 有限单元法 |
| 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析 期刊论文
光学学报, 2011, 期号: 10, 页码: 33-38
作者: 张巍; 巩岩
caj(378Kb) | 收藏 | 浏览/下载：402/89 | 提交时间：2013/03/11
衍射 衍射光学元件 光束整形 矢量角谱 偏振 |
| 一种投影物镜系统中光学元件调心装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-24, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 巩岩; 赵磊; 张巍; 倪明阳
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| 一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-17, 公开日期: 2011-08-17
发明人: 赵磊; 巩岩; 倪明阳; 张巍; 王学亮; 袁文全
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