Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 (发明) | |
赵磊 ; 巩岩; 倪明阳; 张巍; 王学亮; 袁文全
| |
| 2011-08-17 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2011-08-17 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置，涉及深紫外投影光刻物镜系统中的光学元件的微动调整，它解决了现有光学元件轴向微动调整装置存在的系统刚性差、固有频率低、加工制造困难的问题；包括镜筒单元组件、镜框组件、光学元件、三组压电控制驱动单元、三组换向缩放单元、三组导向环和导向滑块，所述镜筒单元组件内设置镜框组件，镜框组件…… |
| 资助项目 | 101900862B |
| 申请号 | 201010242492.7 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11793 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵磊,巩岩,倪明阳,等. 一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 (发明)[P]. 2011-08-17. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN201010190086200000（727KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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