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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  方超
caj(4184Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：331/0  |  提交时间：2019/09/23
系统波像差  光栅横向剪切干涉  相位复原算法  零级串扰误差  重复精度  
离轴四反系统的计算机辅助装调技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  于鑫
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计算机辅助装调  离轴三反  离轴四反  逆向优化  泽尼克  评价 函数  
菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  毛石磊
Adobe PDF(3933Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：337/2  |  提交时间：2016/04/11
菲索干涉仪  移相器  微位移  柔性铰链  压电陶瓷  
太阳极紫外成像光谱仪光学系统研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  刘壮
Adobe PDF(4507Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：389/2  |  提交时间：2014/08/21
干涉仪的仪器传递函数检测方法研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  孙鸽
Adobe PDF(2452Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：441/2  |  提交时间：2014/03/15
菲索型干涉仪  干涉仪的仪器传递函数  空间频率响应特性  标准测试板  
Φ100mm高重复性波长移相干涉仪研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  文刚
Adobe PDF(2678Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：456/2  |  提交时间：2014/03/15
波长移相干涉仪  可调谐半导体激光器  迭代最小二乘法  两帧差分平均移相算法  移相步长标定