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最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 页码: 180-185
作者:  张敏;  高松涛;  苗二龙;  隋永新;  杨怀江
caj(3040Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:354/123  |  提交时间:2018/04/09
测量  干涉检测  子孔径拼接检测  支撑  测量误差  
用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 9, 页码: 70-77
作者:  高松涛;  武东城;  于长淞
caj(3281Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:409/117  |  提交时间:2017/09/17
测量  计算全息图  非球面  投影光刻物镜  衍射鬼像  干涉仪  
离焦补偿算法提高曲率半径测量精度的研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 05, 页码: 116-121
作者:  彭石军;  苏东奇;  苗二龙
caj(1055Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:467/106  |  提交时间:2016/07/06
测量  离焦补偿  曲率半径  立式干涉仪  
光学镜面间隔测量中的色散研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2014, 期号: 6, 页码: 103-108
作者:  郭帮辉;  李明;  孙强
caj(2459Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:436/70  |  提交时间:2015/04/17
光学系统  光学干涉  色散  镜面间隔  光学装调  镜面间隔测量  短相干  
高精度曲率半径测量研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2014, 期号: 1, 页码: 105-111
作者:  彭石军;  苗二龙;  史振广;  陈华;  隋永新;  杨怀江
caj(2325Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:327/66  |  提交时间:2015/04/17
测量  曲率半径  轴向对准误差  环境补偿  菲佐干涉仪  
基于迭代梯度算法的子孔径拼接检测技术研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2014, 期号: 1, 页码: 112-116
作者:  郑立功;  闫力松;  王孝坤;  薛栋林;  胡海翔;  张学军
caj(1589Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:322/74  |  提交时间:2015/04/17
测量  光学检测  干涉测量  子孔径拼接  
大口径碳化硅反射镜面形子孔径拼接干涉检测 期刊论文
激光与光电子学进展, 2013, 期号: 05, 页码: 118-123
作者:  王孝坤
caj(1108Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:416/107  |  提交时间:2014/03/07
光学检测  大口径反射镜  碳化硅  子孔径拼接干涉术  
薄膜应力测量方法研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2004, 期号: 09, 页码: 28-32
作者:  王成;  张贵彦;  马莹;  肖孟超;  钱龙生
caj(316Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:333/63  |  提交时间:2013/03/11
光学  薄膜  应力  激光干涉  激光偏转  X射线