CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
薄膜应力测量方法研究
王成; 张贵彦; 马莹; 肖孟超; 钱龙生
2004-09-20
发表期刊激光与光电子学进展
期号09页码:28-32
关键词光学 薄膜 应力 激光干涉 激光偏转 X射线
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29246
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
王成,张贵彦,马莹,等. 薄膜应力测量方法研究[J]. 激光与光电子学进展,2004(09):28-32.
APA 王成,张贵彦,马莹,肖孟超,&钱龙生.(2004).薄膜应力测量方法研究.激光与光电子学进展(09),28-32.
MLA 王成,et al."薄膜应力测量方法研究".激光与光电子学进展 .09(2004):28-32.
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