Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差 | |
张敏; 高松涛 ; 苗二龙; 隋永新; 杨怀江
| |
| 2016 | |
| 发表期刊 | 激光与光电子学进展
 |
| 页码 | 180-185 |
| 摘要 | 为了去除拼接干涉检测中支撑对面形检测的影响,提出了利用最大似然估计法计算支撑造成的面形误差的方法。首先,保持支撑工装不动,旋转待测镜检测各子孔径面形;然后,用最大似然估计法计算出支撑造成的面形误差;最后,各子孔径面形数据减去估算出的支撑面形误差,利用拼接算法拼接出全口径面形。以全口径直接测量结果为基准进行对比实验,验证了该方法可去除支撑造成的面形误差,提高了拼接检测精度。 |
| 关键词 | 测量 干涉检测 子孔径拼接检测 支撑 测量误差 |
| DOI | 7602DD0CF6F9A0F1E077E69B3835B07E |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58386 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张敏,高松涛,苗二龙,等. 最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差[J]. 激光与光电子学进展,2016:180-185. |
| APA | 张敏,高松涛,苗二龙,隋永新,&杨怀江.(2016).最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差.激光与光电子学进展,180-185. |
| MLA | 张敏,et al."最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差".激光与光电子学进展 (2016):180-185. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑（3040KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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