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高精度角位移平台的研制及误差补偿 期刊论文
仪器仪表学报, 2016, 期号: 5, 页码: 961-967
作者:  姚雪峰;  孙慈;  杨晋;  尹禄;  赵宏伟
caj(1004Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：377/143  |  提交时间：2017/09/17
拉曼光谱仪  角位移平台  直驱  补偿校正  
光刻物镜波像差检测球面波发生装置的研制 期刊论文
仪器仪表学报, 2014, 期号: 7, 页码: 1518-1524
作者:  齐克奇;  向阳
caj(899Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：496/84  |  提交时间：2015/04/17
光刻物镜  波像差  剪切干涉  针孔  有限元方法  
基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2014, 期号: 2, 页码: 269-275
作者:  张德福;  赵磊
caj(660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：341/86  |  提交时间：2015/04/17
光刻投影物镜  微调整机构  光机结构  波像差  
提高中心球铰式快速反射镜指向精度的机构设计 期刊论文
仪器仪表学报, 2013, 期号: 10, 页码: 2345-2350
作者:  徐新行;  杨洪波;  高云国;  王兵;  左春柽
caj(346Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：426/167  |  提交时间：2014/03/07
快速反射镜  柔性弹片  有限元分析  指向精度