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光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者:  张璐;  向阳
收藏  |  浏览/下载：217/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  光刻镜头  绝对检测  光栅横向剪切干涉仪  系统波像差  
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
收藏  |  浏览/下载：252/0  |  提交时间：2017/09/17
薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/si多层膜  
星敏感器星点定位系统误差补偿 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 03, 页码: 299-309
作者:  姜亮;  张立国;  张星祥;  任建岳
caj(1755Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：249/72  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  传感器  星点定位系统误差  频域分析  系统误差补偿  
十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
作者:  方超;  向阳
caj(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：369/92  |  提交时间：2015/04/17
测量  横向剪切干涉仪  相移算法  相位复原  
用于光刻投影物镜检测的高精度菲佐干涉仪误差分析 期刊论文
中国激光, 2010, 卷号: 37, 期号: 8, 页码: 2029-2034
作者:  苗二龙;  谷永强;  康玉思;  刘伟奇
caj(268Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：324/65  |  提交时间：2012/09/25