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极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
收藏  |  浏览/下载：257/0  |  提交时间：2017/09/17
薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/si多层膜  
大口径非球面镜检测中激光跟踪仪测角误差研究 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 11, 页码: 160-170
作者:  刘力;  陈新东;  熊玲;  张峰;  薛栋林
caj(359Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：498/146  |  提交时间：2017/09/17
光学设计  激光跟踪仪  角度误差补偿  大口径非球面镜  多项式拟合  
光刻物镜光瞳极平衡性标定方法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 9, 页码: 282-289
作者:  芮大为;  史振广;  袁文全;  张巍
caj(390Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：383/142  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  光刻物镜  光瞳极平衡  远心度  
大口径标准球面镜组研制与应用 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 287-292
作者:  薛栋林
caj(391Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：293/57  |  提交时间：2015/04/17
光学制造  大口径  标准球面透镜组  长曲率半径  高精度检测  
点衍射干涉仪波前参考源标定算法的研究 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 03, 页码: 177-183
作者:  张宇;  金春水;  马冬梅;  王丽萍
caj(983Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：522/93  |  提交时间：2013/03/11
测量  标定算法  波前参考源  相移点衍射干涉仪  
基于绝对辐亮度计定标的积分球紫外光谱辐射特性研究 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 10, 页码: 1008007
作者:  王淑荣;  曲艺;  黄煜;  林冠宇
Adobe PDF(1067Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：346/75  |  提交时间：2012/05/11
基于掠入射X射线反射镜的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 11
作者:  喻波;  李春;  金春水
Adobe PDF(568Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：482/138  |  提交时间：2012/05/11
计算全息法标定抛物面精度分析 期刊论文
中国激光, 2011, 页码: 1208005
作者:  谷勇强;  苗二龙;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(1550Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：441/139  |  提交时间：2012/05/11