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大口径标准球面镜组研制与应用
薛栋林
2014-06-10
发表期刊中国激光
期号6页码:287-292
摘要为了实现大口径凸面反射镜检测,研究了大口径标准镜组的设计与研制技术。针对口径Φ为350mm、焦距为4400mm的标准球面镜组,完成了标准镜头设计分析、面形和曲率半径误差标定以及系统集成与实验验证。光学设计软件模拟分析结果表明镜头设计波像差达到0.0001λ[峰谷值(PV),λ=632.8nm],该标准镜头参考球面标准镜面形加工精度达到0.088λ(PV,λ=632.8nm)、0.006λ[均方根(RMS),λ=632.8nm],某项目Φ为320mm、R为4092mm的碳化硅凸面反射镜最终加工检测结果达到0.102λ(PV,λ=632.8nm)、0.011λ(RMS,λ=632.8nm)。结果表明采用该大口径标准球面波透镜组为大口径长曲率半径凸面反射镜提供了一种高精度检测的手段,解决了大口径长曲率半径凸面反射镜检测难题,采用该标准球面镜结合基于数字样板的非零位检测方法也可完成浅度非球面或自由曲面面形实时高精度检测。
文章类型期刊
关键词光学制造 大口径 标准球面透镜组 长曲率半径 高精度检测
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42825
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
薛栋林. 大口径标准球面镜组研制与应用[J]. 中国激光,2014(6):287-292.
APA 薛栋林.(2014).大口径标准球面镜组研制与应用.中国激光(6),287-292.
MLA 薛栋林."大口径标准球面镜组研制与应用".中国激光 .6(2014):287-292.
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