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Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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薄膜  Mo/Si多层膜  极紫外光刻  磁控溅射  表面粗糙度  功率谱密度  
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
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薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/si多层膜  
质子辐照下Mo/Si多层膜反射镜的微观结构状态 期刊论文
物理学报, 2011, 期号: 01, 页码: 324-330
作者:  关庆丰;  吕鹏;  王孝东;  万明珍;  顾倩倩;  陈波
caj(1428Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：567/109  |  提交时间：2013/03/11
空间太阳望远镜  Mo/si多层膜  微观结构  反射率  
基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 11, 页码: 220-225
作者:  喻波;  李春;  金春水
caj(458Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：627/179  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  Mo/si多层膜  扩散系数  掠入射x射线反射谱  四层模型  极紫外  
Mo/Si多层膜反射镜在带电粒子照射下反射率变化 期刊论文
光学精密工程, 2005, 期号: S1, 页码: 38-41
作者:  陈波;  李忠芳;  尼启良;  齐立红;  王丽辉
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空间辐射环境  Mo/si多层膜反射镜  带电粒子  辐射损伤  
X光多层膜反射镜的损伤与破坏 期刊论文
中国核科技报告, 1999, 期号: 00, 页码: 954-965
作者:  淳于书泰;  谷渝秋;  尤永禄;  黄文忠;  何颍玲;  马月英;  裴舒;  曹健林
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Mo/si多层膜反射镜:9372  双程放大:2468  X光:1246  反射率:1169  中国工程物理研究院:1067  等离子体喷射:832  界面粗糙度:710  表面状态:605  表面粗糙度:520  等离子体发射:415