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用于高集成光谱技术的多层楔形薄膜滤光片研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  唐昊龙
caj(6547Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:130/0  |  提交时间:2020/08/24
光学薄膜  高集成光谱探测  楔形薄膜  膜系设计  离子束溅射  
离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655
作者:  才玺坤;  张立超;  时光;  贺健康;  武潇野;  梅林
caj(317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:377/147  |  提交时间:2017/09/17
离子束溅射  应力  光学特性  膜厚均匀性  
离子束溅射制备GdF_3光学薄膜沉积速率分布特性 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 3, 页码: 356-363
作者:  贺健康;  张立超;  才玺坤;  时光;  武潇野;  梅林
caj(320Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:314/86  |  提交时间:2017/09/17
离子束溅射  光学薄膜  沉积速率  二维拟合  膜厚均匀性  
高色散系数线性渐变滤光片的研制 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 05, 页码: 1221-1226
作者:  张建;  高劲松;  李玉东
caj(407Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:303/106  |  提交时间:2016/07/06
线性渐变滤光片  双离子束溅射  色散  透过率  膜厚修正  
热蒸发与离子束溅射制备LaF_3薄膜的光学特性 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 808-815
作者:  才玺坤;  张立超;  梅林;  时光
caj(414Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:297/74  |  提交时间:2015/04/17
薄膜  Laf3  热蒸发  离子束溅射  应力  减反膜  
离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF_3薄膜 期刊论文
激光技术, 2013, 期号: 05, 页码: 592-595
作者:  时光;  梅林;  高劲松;  张立超;  张玲花
caj(325Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:481/132  |  提交时间:2014/03/07
薄膜  Laf3  热蒸发  离子束溅射  深紫外  
19_5nm极紫外反射镜的研制 期刊论文
光学技术, 2008, 期号: 3
作者:  赵伟;  袁宏韬;  缪同群
caj(119Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:488/81  |  提交时间:2012/09/25
薄膜光学  极紫外  多层膜  非周期  离子束溅射  同步辐射  
时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜 期刊论文
激光与红外, 2007, 期号: 4
作者:  袁宏韬;  张贵彦
caj(149Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:411/73  |  提交时间:2012/09/25
倍频波长分离膜  时间监控  双离子束溅射  半波孔  
一种日夜两用光学低通滤波器的研制 期刊论文
光学精密工程, 2006, 期号: 4
作者:  袁宏韬;  张贵彦
caj(382Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:345/71  |  提交时间:2012/09/25
光学低通滤波器  红外截止膜  双离子束溅射  
化学氧碘激光器中的角立方反射器的研制 期刊论文
光学技术, 2006, 期号: S1
作者:  李刚;  公发全;  刘万发;  孙龙;  孙连春
caj(163Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:514/82  |  提交时间:2012/09/25
薄膜光学  电子束蒸发  离子束溅射  角立方反射器