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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  方超
caj(4184Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：334/0  |  提交时间：2019/09/23
系统波像差  光栅横向剪切干涉  相位复原算法  零级串扰误差  重复精度  
极小孔径衍射波前测试分析 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2639-2644
作者:  邵晶;  马冬梅;  张海涛;  于杰;  周烽
caj(431Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：485/107  |  提交时间：2015/04/17
光学检测  点衍射干涉仪  相位复原  衍射波前  
十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
作者:  方超;  向阳
caj(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：380/92  |  提交时间：2015/04/17
测量  横向剪切干涉仪  相移算法  相位复原