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用金属诱导准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜 期刊论文
液晶与显示, 2005, 期号: 02, 页码: 128-132
作者:  廖燕平;  邵喜斌;  吴渊;  骆文生;  付国柱;  荆海;  马凯
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多晶硅薄膜  金属诱导准分子激光晶化  Nisi2  
氢原子在Cat-CVD法制备多晶硅薄膜中的作用 期刊论文
液晶与显示, 2004, 期号: 06, 页码: 450-454
作者:  邝俊峰;  付国柱;  高博;  高文涛;  黄金英;  廖燕平;  荆海
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多晶硅薄膜  氢原子  催化化学气相沉积  
金属诱导法低温多晶硅薄膜的制备与研究 期刊论文
液晶与显示, 2000, 期号: 04, 页码: 250-254
作者:  刘传珍;  杨柏梁;  张玉;  李牧菊;  吴渊;  廖燕平;  王大海;  邱法斌;  李轶华;  黄锡珉
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金属诱导晶化  多晶硅薄膜  退火