Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 氢原子在Cat-CVD法制备多晶硅薄膜中的作用 | |
| 邝俊峰; 付国柱; 高博; 高文涛; 黄金英; 廖燕平; 荆海 | |
| 2004-12-26 | |
| 发表期刊 | 液晶与显示
 |
| 期号 | 06页码:450-454 |
| 关键词 | 多晶硅薄膜 氢原子 催化化学气相沉积 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29867 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邝俊峰,付国柱,高博,等. 氢原子在Cat-CVD法制备多晶硅薄膜中的作用[J]. 液晶与显示,2004(06):450-454. |
| APA | 邝俊峰.,付国柱.,高博.,高文涛.,黄金英.,...&荆海.(2004).氢原子在Cat-CVD法制备多晶硅薄膜中的作用.液晶与显示(06),450-454. |
| MLA | 邝俊峰,et al."氢原子在Cat-CVD法制备多晶硅薄膜中的作用".液晶与显示 .06(2004):450-454. |
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