Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
用金属诱导准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜 | |
廖燕平; 邵喜斌; 吴渊; 骆文生; 付国柱; 荆海; 马凯 | |
2005-04-26 | |
发表期刊 | 液晶与显示 |
期号 | 02页码:128-132 |
关键词 | 多晶硅薄膜 金属诱导准分子激光晶化 Nisi2 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29356 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 廖燕平,邵喜斌,吴渊,等. 用金属诱导准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜[J]. 液晶与显示,2005(02):128-132. |
APA | 廖燕平.,邵喜斌.,吴渊.,骆文生.,付国柱.,...&马凯.(2005).用金属诱导准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜.液晶与显示(02),128-132. |
MLA | 廖燕平,et al."用金属诱导准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜".液晶与显示 .02(2005):128-132. |
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