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用金属诱导准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜
廖燕平; 邵喜斌; 吴渊; 骆文生; 付国柱; 荆海; 马凯
2005-04-26
发表期刊液晶与显示
期号02页码:128-132
关键词多晶硅薄膜 金属诱导准分子激光晶化 Nisi2
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29356
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
廖燕平,邵喜斌,吴渊,等. 用金属诱导准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜[J]. 液晶与显示,2005(02):128-132.
APA 廖燕平.,邵喜斌.,吴渊.,骆文生.,付国柱.,...&马凯.(2005).用金属诱导准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜.液晶与显示(02),128-132.
MLA 廖燕平,et al."用金属诱导准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜".液晶与显示 .02(2005):128-132.
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