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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  方超
caj(4184Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：382/0  |  提交时间：2019/09/23
系统波像差  光栅横向剪切干涉  相位复原算法  零级串扰误差  重复精度  
光刻物镜波像差检测球面波发生装置的研制 期刊论文
仪器仪表学报, 2014, 期号: 7, 页码: 1518-1524
作者:  齐克奇;  向阳
caj(899Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：525/85  |  提交时间：2015/04/17
光刻物镜  波像差  剪切干涉  针孔  有限元方法  
基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 11, 页码: 1099-1104
作者:  于长淞;  齐克奇;  张春雷;  向阳
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：536/161  |  提交时间：2014/03/07
剪切干涉  光栅移相  压电陶瓷  有限元  
双向剪切干涉法检测光束准直性 期刊论文
仪器仪表学报, 1997, 期号: 04, 页码: 109-112
作者:  杨志文
caj(48Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：478/71  |  提交时间：2013/03/11
光束准直:5735  双向剪切:5049  干涉条纹:4780  剪切干涉法:2823  检测灵敏度:2067  离焦量:1855  准直物镜:1170  准直性:773  剪切方向:769  检测精度:698