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| 摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅 期刊论文
强激光与粒子束, 2019, 卷号: 31, 期号: 06, 页码: 7-15
作者: 王琼; 沈晨; 谭鑫; 齐向东; 巴音贺希格
 caj(1030Kb) |  收藏 | 浏览/下载：368/40 | 提交时间：2020/08/24
凸面闪耀光栅 摆动刻蚀 衍射效率 成像光谱仪 |
| 表面集成微光学元件垂直腔面发射激光器研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 黄佑文
 caj(5249Kb) | 收藏 | 浏览/下载：245/0 | 提交时间：2019/09/23
垂直腔面发射激光器 微透镜 单横模 发散角 扩散限制湿法化学刻蚀 |
| 用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 03, 页码: 588-596
作者: 沈晨; 谭鑫; 朱继伟; 张伟 ; 齐向东
收藏 | 浏览/下载：257/0 | 提交时间：2019/09/17
衍射光栅 曲面闪耀光栅 光栅刻蚀 三维工作台 圆弧拟合算法 轨迹误差 |
| 高衍射效率菲涅尔波带片的制作工艺及衍射特性研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 国成立
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波带片 衍射效率 多台阶刻蚀 混合台阶 误差分析 |
| 高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 沈晨
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曲面光栅离子束刻蚀机 三维工作台 凸面光栅 摆动刻蚀 硅改性RB-SiC |
| 痕量氢气法监测硅中阶梯光栅湿法刻蚀截止点 期刊论文
长春工业大学学报, 2015, 期号: 05, 页码: 496-502
作者: 王军
caj(380Kb) | 收藏 | 浏览/下载：221/102 | 提交时间：2016/07/06
截止点监测 痕量氢气 湿法刻蚀 中阶梯光栅 |
| 硅中阶梯光栅的湿法刻蚀技术 期刊论文
长春工业大学学报, 2015, 期号: 04, 页码: 390-394
作者: 焦庆斌
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硅中阶梯光栅 湿法刻蚀 衍射效率 |
| 宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 07, 页码: 1978-1983
作者: 吴娜; 谭鑫; 于海利; 张方程
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全息光栅 宽波段光栅 离子束刻蚀 刻蚀模拟 |
| 反应离子束刻蚀工艺制作闪耀罗兰光栅 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2015, 期号: 04, 页码: 239-243
作者: 谭鑫
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衍射效率 反应离子束刻蚀 粗糙度 罗兰光栅 |
| 小顶角平台硅中阶梯光栅光刻胶掩模制备工艺研究 期刊论文
长春工业大学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 288-292
作者: 焦庆斌
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紫外曝光 倒置热熔 硅中阶梯光栅 湿法刻蚀 |
