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高衍射效率菲涅尔波带片的制作工艺及衍射特性研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  国成立
caj(7476Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：148/0  |  提交时间：2019/09/23
波带片  衍射效率  多台阶刻蚀  混合台阶  误差分析