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光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者:  糜小涛;  于海利;  于宏柱;  齐向东;  李晓天;  万秋华
caj(3271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：869/130  |  提交时间：2018/04/09
衍射光栅  阿贝误差  衍射波前  刻线位置误差  刻划机  
光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 01, 页码: 239-246
作者:  杨超;  于海利;  张善文;  于宏柱;  李晓天;  唐玉国
caj(1321Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：371/126  |  提交时间：2016/07/06
光栅  刻划光栅  光栅波前  刻线位置误差  转角误差  压电驱动器  
光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2674-2682
作者:  杨超;  于海利;  冯树龙;  李晓天;  齐向东;  姜珊;  唐玉国
caj(448Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：477/146  |  提交时间：2015/04/17
刻划刀架  刻划光栅  刻线弯曲  刻线位置误差  光栅光谱  
机械刻划光栅的刻线弯曲与位置误差对平面光栅性能影响及其修正方法 期刊论文
中国激光, 2013, 期号: 03, 页码: 232-239
作者:  李晓天;  巴音贺希格;  齐向东;  于海利;  唐玉国
caj(1210Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：463/128  |  提交时间：2014/03/07
光栅  平面光栅  光栅刻线弯曲  光栅刻线位置误差  衍射波前  光栅指标  
圆拟合修正法在超声波键合机中的应用 期刊论文
半导体技术, 2011, 期号: 07, 页码: 549-553
作者:  洪喜;  续志军;  李维;  刘立峰
caj(324Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：577/83  |  提交时间：2013/03/11
超声波键合机  键合工具  位置误差  椭圆拟合  精度  
四边型位置敏感探测器位置公式的改进 期刊论文
光子学报, 2005, 期号: 04, 页码: 507-510
作者:  陶忠祥;  单纯玉;  宋建中
caj(144Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：376/78  |  提交时间：2013/03/11
位置敏感探测器  位置误差  线性度  修正  
新型圆光栅多头读数系统的研究 期刊论文
计量技术, 1996, 期号: 05, 页码: 11-14
作者:  付永启
caj(156Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：347/41  |  提交时间：2013/03/11
圆光栅  多读数头  积分残差  富氏谱项  相对角位置误差