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超精密光刻物镜缓冲包装设计 期刊论文
机械与电子, 2015, 期号: 08, 页码: 6-9+17
作者:  东立剑;  袁文全;  吴志会;  倪明阳;  张巍
caj(306Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：411/175  |  提交时间：2016/07/06
物镜镜组  数值模拟  跌落分析  实验验证  
光刻物镜光瞳极平衡性标定方法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 9, 页码: 282-289
作者:  芮大为;  史振广;  袁文全;  张巍
caj(390Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：434/163  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  光刻物镜  光瞳极平衡  远心度  
低应力光学结构胶恒温下固化应力大小分析 期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 05, 页码: 138-144
作者:  廖家胜;  巩岩;  袁文全;  骆聪
caj(546Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：481/135  |  提交时间：2014/03/07
光学结构胶  应变  有限元  固化应力  粘弹性  
一种光刻机投影物镜镜片的支撑装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: ZL201110212311.0, 申请日期: 2013-04-17, 公开日期: 2014-03-11
发明人:  倪明阳,巩岩,张巍,赵磊,王学亮,袁文全
Adobe PDF(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：414/76  |  提交时间：2014/03/11
大时间热响应常数投影物镜的超高精度温度控制 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 01, 页码: 108-114
作者:  秦硕;  巩岩;  袁文全;  杨怀江
caj(2080Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：521/114  |  提交时间：2014/03/07
投影物镜  温度控制  串级控制  大时滞  模型预测  前馈补偿  
光机系统胶接结构非线性分析的线性简化处理 期刊论文
激光与红外, 2012, 期号: 04, 页码: 408-412
作者:  刘玖;  巩岩;  杨洪波;  袁文全;  范磊
caj(279Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：529/170  |  提交时间：2013/03/11
光机系统  胶接结构  非线性  简化处理  粘弹性  胶接剂  
一种用于光学测量的积分球装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-04-11, 公开日期: 2012-04-11
发明人:  巩岩;  倪明阳;  赵磊;  张巍;  王学亮;  袁文全
Adobe PDF(786Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：517/79  |  提交时间：2012/08/29
一种超越型激光强度函数及其数值拟合方法 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 03, 页码: 23-29
作者:  袁文全;  巩岩
caj(975Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：711/206  |  提交时间：2013/03/11
激光光学  强度分布  超越函数  多变量寻优  最小二乘法  最陡下降法  方向搜索法  
一种可双向调节缝宽的狭缝装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2011-12-28
发明人:  倪明阳;  巩岩;  张巍;  赵磊;  王学亮;  袁文全
Adobe PDF(465Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：682/94  |  提交时间：2012/08/29
一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  倪明阳;  巩岩;  张巍;  赵磊;  王学亮;  袁文全
Adobe PDF(479Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：570/80  |  提交时间：2012/08/29