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相位扫描法制作变栅距光栅(英文) 期刊论文
光电工程, 2004, 期号: 11, 页码: 35-38
作者:  时轮;  胡德金;  郝德阜
caj(706Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：447/77  |  提交时间：2013/03/11
变线距光栅  相位扫描  亚纳米  
制作高密度衍射光栅的光电式刻划控制的研究 期刊论文
光学技术, 2004, 期号: 03, 页码: 340-342
作者:  时轮;  马春翔;  胡德金;  郝德阜
caj(49Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：392/102  |  提交时间：2013/03/11
衍射光栅  光电  刻划  
一种亚纳米级变栅距衍射光栅制作方法的研究 期刊论文
光学技术, 2003, 期号: 03, 页码: 320-322+326
作者:  时轮
caj(66Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：602/50  |  提交时间：2013/03/11
衍射光栅  变栅距分度  亚纳米  
变栅距衍射光栅刻划机的控制系统设计 期刊论文
微细加工技术, 2002, 期号: 04, 页码: 32-35
作者:  时轮
caj(52Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：408/56  |  提交时间：2013/03/11
变栅距(Vls)光栅  刻划机  控制系统  
高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展 期刊论文
仪器仪表学报, 2001, 期号: S2, 页码: 438-439
作者:  时轮;  郝德阜;  齐向东
caj(37Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：398/84  |  提交时间：2013/03/11
衍射光栅刻划机  双重定位  间歇式  连续式  
高精度的光电式衍射光栅刻划机 期刊论文
仪器仪表学报, 2001, 期号: S2, 页码: 103-104
作者:  时轮;  郝德阜;  齐向东
caj(31Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：401/93  |  提交时间：2013/03/11
光栅刻划机  控制原理  对比  
变栅距衍射光栅的原理及应用 期刊论文
光学精密工程, 2001, 期号: 03, 页码: 284-287
作者:  时轮;  郝德阜
caj(37Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：470/96  |  提交时间：2013/03/11
变栅距  衍射光栅  像差校正  应用