Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 变栅距衍射光栅刻划机的控制系统设计 | |
| 时轮 | |
| 2002-12-30 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
 |
| 期号 | 04页码:32-35 |
| 关键词 | 变栅距(Vls)光栅 刻划机 控制系统 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29297 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 时轮. 变栅距衍射光栅刻划机的控制系统设计[J]. 微细加工技术,2002(04):32-35. |
| APA | 时轮.(2002).变栅距衍射光栅刻划机的控制系统设计.微细加工技术(04),32-35. |
| MLA | 时轮."变栅距衍射光栅刻划机的控制系统设计".微细加工技术 .04(2002):32-35. |
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