Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
制作高密度衍射光栅的光电式刻划控制的研究 | |
时轮; 马春翔; 胡德金; 郝德阜 | |
2004-05-20 | |
发表期刊 | 光学技术 |
期号 | 03页码:340-342 |
关键词 | 衍射光栅 光电 刻划 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29725 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 时轮,马春翔,胡德金,等. 制作高密度衍射光栅的光电式刻划控制的研究[J]. 光学技术,2004(03):340-342. |
APA | 时轮,马春翔,胡德金,&郝德阜.(2004).制作高密度衍射光栅的光电式刻划控制的研究.光学技术(03),340-342. |
MLA | 时轮,et al."制作高密度衍射光栅的光电式刻划控制的研究".光学技术 .03(2004):340-342. |
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