CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
制作高密度衍射光栅的光电式刻划控制的研究
时轮; 马春翔; 胡德金; 郝德阜
2004-05-20
发表期刊光学技术
期号03页码:340-342
关键词衍射光栅 光电 刻划
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29725
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
时轮,马春翔,胡德金,等. 制作高密度衍射光栅的光电式刻划控制的研究[J]. 光学技术,2004(03):340-342.
APA 时轮,马春翔,胡德金,&郝德阜.(2004).制作高密度衍射光栅的光电式刻划控制的研究.光学技术(03),340-342.
MLA 时轮,et al."制作高密度衍射光栅的光电式刻划控制的研究".光学技术 .03(2004):340-342.
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