中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Analysis of ArF excimer laser system discharge characteristics in different buffer gases 期刊论文
Acta Physica Sinica, 2020, 卷号: 69, 期号: 17, 页码: 8
作者:  Q. Wang, J. S. Zhao, Y. Y. Fan, X. Guo and Y. Zhou
浏览  |  Adobe PDF(1306Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：169/49  |  提交时间：2021/07/06
深紫外光学薄膜激光辐照特性研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵灵
Adobe PDF(3284Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：395/1  |  提交时间：2015/05/03
深紫外  光学薄膜  吸收  激光量热法  
P偏振ArF准分子激光大角度减反射薄膜的研究与制备 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  靳京城
Adobe PDF(2780Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：351/2  |  提交时间：2014/08/21
ArF准分子激光高反射薄膜技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  常艳贺
Adobe PDF(4081Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：606/1  |  提交时间：2014/08/21
光学材料均匀性对光学系统像质影响研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  杨添星
Adobe PDF(11650Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：354/3  |  提交时间：2014/03/15
均匀性  投影光刻物镜  光线追迹  光学设计  
用于ArF准分子激光器的CaF2衬底性能的实验表征 期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 10, 页码: 1002005
作者:  邓文渊;  金春水
Adobe PDF(830Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：516/145  |  提交时间：2012/05/11
用于ArF准分子激光器的CaF_2衬底性能的实验表征 期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 10, 页码: 22-27
作者:  邓文渊;  金春水;  靳京城
caj(471Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：512/64  |  提交时间：2013/03/11
激光器  Arf准分子激光器  Caf2衬底  激光量热吸收  表面粗糙度  光谱术