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Long focal length aspherical mirror testing with CGH and auxiliary lenses (invited) 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2022, 卷号: 51, 期号: 9
作者:  Y. Zhang;  F. Li;  L. Yan;  D. Yan;  C. Wang;  Y. Zhang;  B. Zhang;  X. Zhang;  M. Cai;  J. He and X. Wang
浏览  |  Adobe PDF(1815Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:208/81  |  提交时间:2023/06/14
基于粒子群算法离轴多反光学系统设计 期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1435-1450
作者:  吴越;  王丽萍;  于杰;  张旭;  金春水
浏览  |  Adobe PDF(2477Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:338/95  |  提交时间:2022/06/29
Design of off-axis multi-reflective optical system based on particle swarm optimization 期刊论文
Chinese Optics, 2021, 卷号: 14, 期号: 6, 页码: 1435-1450
作者:  Y. Wu;  L.-P. Wang;  J. Yu;  X. Zhang and C.-S. Jin
浏览  |  Adobe PDF(2477Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:152/61  |  提交时间:2022/06/13
Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
浏览  |  Adobe PDF(3802Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:439/150  |  提交时间:2021/07/06
原子与分子物理学  分子动力学  反射  再溅射  Mo/Si原子  角度分布  能量分布  
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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薄膜  Mo/Si多层膜  极紫外光刻  磁控溅射  表面粗糙度  功率谱密度  
Research on Surface Roughness Related Coating Processes of Mo/Si Multilayers 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 7
作者:  S. Sun,C. Jin,B. Yu,T. Guo,S. Yao,C. Li and W. Deng
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Reflection and Resputtering of Mo/Si Atoms During High-Energy Deposition 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 8
作者:  S. Sun,C. Jin,B. Yu,T. Guo,S. Yao,C. Li and W. Deng
浏览  |  Adobe PDF(3802Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:216/81  |  提交时间:2021/07/06
Tolerance Sensitivity Research of Nano-star Sensor Optical System with Large Field 期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2019, 卷号: 48, 期号: 5
作者:  K.Zhang;  X.Zhong;  Y.Meng;  J.Liu
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Optical systems,Aberrations,Fits and tolerances,Lenses,Nanosensors,Sensitivity analysis,Stars  
极紫外与X射线增反膜表面碳沉积去除技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  王依
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极紫外  X射线  增反膜  碳沉积  等离子体去除  
Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:  Dai, Cen;  Gong, Yan;  Zhang, Hao;  Li, Dian-Meng;  Xue, Jin-Lai
Adobe PDF(2558Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:394/128  |  提交时间:2019/09/17
Multilayers  Coatings  Confocal microscopy  Defects  Diffraction  Extreme ultraviolet lithography  Microstructure