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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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WOS被引频次升序
WOS被引频次降序
Long focal length aspherical mirror testing with CGH and auxiliary lenses (invited)
期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2022, 卷号: 51, 期号: 9
作者:
Y. Zhang
;
F. Li
;
L. Yan
;
D. Yan
;
C. Wang
;
Y. Zhang
;
B. Zhang
;
X. Zhang
;
M. Cai
;
J. He and X. Wang
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提交时间:2023/06/14
基于粒子群算法离轴多反光学系统设计
期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1435-1450
作者:
吴越
;
王丽萍
;
于杰
;
张旭
;
金春水
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提交时间:2022/06/29
Design of off-axis multi-reflective optical system based on particle swarm optimization
期刊论文
Chinese Optics, 2021, 卷号: 14, 期号: 6, 页码: 1435-1450
作者:
Y. Wu
;
L.-P. Wang
;
J. Yu
;
X. Zhang and C.-S. Jin
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提交时间:2022/06/13
Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究
期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
;
李春
;
邓文渊
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提交时间:2021/07/06
原子与分子物理学
分子动力学
反射
再溅射
Mo/Si原子
角度分布
能量分布
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究
期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
;
李春
;
邓文渊
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提交时间:2021/07/06
薄膜
Mo/Si多层膜
极紫外光刻
磁控溅射
表面粗糙度
功率谱密度
Research on Surface Roughness Related Coating Processes of Mo/Si Multilayers
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 7
作者:
S. Sun,C. Jin,B. Yu,T. Guo,S. Yao,C. Li and W. Deng
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提交时间:2021/07/06
Reflection and Resputtering of Mo/Si Atoms During High-Energy Deposition
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 8
作者:
S. Sun,C. Jin,B. Yu,T. Guo,S. Yao,C. Li and W. Deng
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提交时间:2021/07/06
Tolerance Sensitivity Research of Nano-star Sensor Optical System with Large Field
期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2019, 卷号: 48, 期号: 5
作者:
K.Zhang
;
X.Zhong
;
Y.Meng
;
J.Liu
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提交时间:2020/08/24
Optical systems,Aberrations,Fits and tolerances,Lenses,Nanosensors,Sensitivity analysis,Stars
极紫外与X射线增反膜表面碳沉积去除技术研究
学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
王依
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提交时间:2019/09/23
极紫外
X射线
增反膜
碳沉积
等离子体去除
Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:
Dai, Cen
;
Gong, Yan
;
Zhang, Hao
;
Li, Dian-Meng
;
Xue, Jin-Lai
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提交时间:2019/09/17
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