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| 大量程高性能光栅位移测量技术 期刊论文
计测技术, 2023, 卷号: 43, 期号: 01, 页码: 81-90
作者: 刘林; 刘兆武; 于宏柱; 王玮; 姜岩秀; 姜珊; 孙宇佳; 金思宇; 梁旭; 巴音贺希格; 李文昊
 浏览 |  Adobe PDF(2819Kb) |  收藏 | 浏览/下载：6/3 | 提交时间：2024/08/16 |
| 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者: 宋莹; 赵旭龙; 姜岩秀; 巴音贺希格; 齐向东
caj(373Kb) | 收藏 | 浏览/下载：467/142 | 提交时间：2018/04/09
全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 |
| Interference Fringe Locking by Grating-Shifting Holographic Grating Exposure 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 5
作者: Song, Y.; X. Zhao; Y. Jiang; Bayanheshig and X. Qi
浏览 | Adobe PDF(528Kb) | 收藏 | 浏览/下载：368/122 | 提交时间：2018/06/13 |
| Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者: Wang, W.; Bayanheshig; M. Pan; Y. Song and W. Li
浏览 | Adobe PDF(993Kb) | 收藏 | 浏览/下载：301/101 | 提交时间：2018/06/13 |
| Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1
作者: Liu, Z. ; W. Li; Bayanheshig; Y. Song; S. Jiang; X. Li and Q. Lu
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| Beam alignment and convergence analysis of scanning beam interference lithography systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 12
作者: Wang, W.; Bayanheshig; Y. Song; S. Jiang and M. Pan
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| 全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 宋莹
Adobe PDF(5623Kb) | 收藏 | 浏览/下载：523/2 | 提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光 扫描干涉场曝光 干涉条纹 移频式 静态相位锁定 动态相位锁定 Aom |
| 移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统的设计 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 2, 页码: 318-324
作者: 宋莹; 巴音贺希格; 齐向东; 张宁; 唐玉国
caj(695Kb) | 收藏 | 浏览/下载：415/146 | 提交时间：2015/04/17
全息光栅 曝光 莫尔条纹 相位锁定 声光调制器 |
| Effect of measured interference fringe period error on groove profile of grating masks in scanning beam interference lithography system 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 4
作者: Jiang S.; Bayanheshig; Song Y.; Pan M.; Li W.
浏览 | Adobe PDF(4154Kb) | 收藏 | 浏览/下载：586/90 | 提交时间：2015/04/24 |
