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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:
Mi, X.
;
H. Yu
;
H. Yu
;
X. Qi
;
X. Li and Q. Wan
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提交时间:2018/06/13
Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:
Wang, W.
;
S. Jiang
;
Y. Song and Bayanheshig
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提交时间:2018/06/13
大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析
期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者:
宋楠
;
冯树龙
;
于海利
;
齐向东
;
巴音贺希格
;
唐玉国
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提交时间:2016/07/06
光栅
衍射光栅
光栅刻划机
气浮导轨
双频激光干涉仪
刀架系统
Design and analysis of diamond carrier aerostatic guideway in large diffraction grating ruling engine
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 4
作者:
Song, N.
;
S. Feng
;
H. Yu
;
X. Qi
;
Bayanheshig and Y. Tang
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提交时间:2016/08/24
大型衍射光栅刻划机刀架导轨设计
期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 1, 页码: 42-45
作者:
糜小涛
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提交时间:2015/04/17
衍射光栅刻划机
刀架导轨
静力学分析