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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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光学技术数据库对光学设计软件的支持
期刊论文
中国科技资源导刊, 2022, 卷号: 54, 期号: 01, 页码: 66-75
作者:
娄洪伟
;
周影
;
吴昊轩
;
盛磊
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提交时间:2023/05/18
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法
期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者:
张璐
;
向阳
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提交时间:2019/09/17
测量
光刻镜头
绝对检测
光栅横向剪切干涉仪
系统波像差
Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8
作者:
Zhang, Lu
;
Xiang, Yang
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提交时间:2019/09/17
Shearing
Aberrations
Errors
Interferometers
Measurement
Wavefronts
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:
Fang, Chao
;
Xiang, Yang
;
Qi, Keqi
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提交时间:2019/09/17
Aberrations
Crosstalk
Interferometry
Measurement
Photolithography
Shearing
Wave interference
Wavefronts
基于镜面间隔和中心偏差测量的光学镜头辅助装调设备的研究
学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:
郭帮辉
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提交时间:2014/08/21
十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法
期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
作者:
方超
;
向阳
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提交时间:2015/04/17
测量
横向剪切干涉仪
相移算法
相位复原
旋转支撑法去除元件面形测量的夹持误差
期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 8, 页码: 0812004-1
作者:
王平
;
田伟
;
王汝冬
;
王立朋
;
隋永新
;
杨怀江
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提交时间:2012/05/11
大口径光学元件重力变形补偿的设计分析
期刊论文
中国光学, 2011, 卷号: 4, 期号: 3, 页码: 259-263
作者:
王汝冬
;
王平
;
田伟
;
王立朋
;
隋永新
;
杨怀江
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提交时间:2012/05/11
300mm平面标准镜装卡结构的关键参数
期刊论文
中国光学, 2011, 卷号: 4, 期号: 3, 页码: 283-292
作者:
田伟
;
王汝冬
;
王平
;
隋永新
;
王立朋
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提交时间:2012/05/11