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原子力显微镜探针批量制备工艺分析 期刊论文
微纳电子技术, 2016, 期号: 2, 页码: 119-123
作者:  李加东;  苗斌;  张轲;  吴东岷
caj(1612Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:372/135  |  提交时间:2017/09/17
原子力显微镜(Afm)  探针  绝缘衬底上的硅(Soi)  自锐式  曲率半径  
光栅参数测量技术研究进展 期刊论文
中国光学, 2011, 期号: 02, 页码: 103-110
作者:  刘洪兴;  张巍;  巩岩
caj(428Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:448/129  |  提交时间:2013/03/11
光栅  光栅参数测量  原子力显微镜  扫描电子显微镜  激光衍射仪  椭偏仪  
基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 1
作者:  李文昊;  巴音贺希格;  齐向东
caj(275Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:475/88  |  提交时间:2012/09/25
全息光栅  光刻胶热熔法  离子束刻蚀  原子力显微镜  
激光陀螺超光滑反射镜基片的光学加工和检测技术 期刊论文
航空精密制造技术, 2003, 期号: 02, 页码: 5-9
作者:  王金林;  陈明;  韩荣久;  刘伟奇中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;  吴清文中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;  裴舒
caj(428Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:448/78  |  提交时间:2013/03/11
激光陀螺  浮法抛光  相移干涉  原子力显微镜  分形  
ZnCdSe量子点的MOCVD生长及其演变 期刊论文
固体电子学研究与进展, 2002, 期号: 04, 页码: 429-432+440
作者:  单崇新;  范希武;  张吉英;  张振中;  王晓华;  吕有明;  刘益春;  申德振;  孔祥贵;  吕少哲
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锌镉硒  量子点  金属有机物化学气相沉积  原子力显微镜  
用于微机械的形状记忆合金薄膜工艺研究 期刊论文
中国机械工程, 2002, 期号: 01, 页码: 35-38+4
作者:  曲炳郡;  刘晓鹏;  李路明;  王立鼎
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形状记忆合金  薄膜  微型机电系统  冷轧  溅射  原子力显微镜  
高反射率13nmMo/Si多层膜 期刊论文
光学仪器, 2001, 期号: Z1, 页码: 149-153
作者:  刘毅楠;  马月英;  曹健林
caj(65Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:359/78  |  提交时间:2013/03/11
软x射线多层膜  原子力显微镜  离子束溅射镀膜  
氧离子辅助法沉积ITO透明导电膜的研究 期刊论文
光学精密工程, 2001, 期号: 02, 页码: 169-173
作者:  初国强;  王子君;  赵家民;  刘毅南;  刘云;  刘星元;  王立军
caj(120Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:548/97  |  提交时间:2013/03/11
离子辅助沉积  Ito膜  电子束  氧空位  原子力显微镜  
扫描遂道显微镜 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1993, 期号: 02, 页码: 6-11
作者:  张海成
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Stm  分辨率  定电流方式  原子力显微镜  扫描探针显微镜