Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光栅参数测量技术研究进展 | |
刘洪兴; 张巍 ; 巩岩
| |
| 2011-04-15 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 期号 | 02页码:103-110 |
| 关键词 | 光栅 光栅参数测量 原子力显微镜 扫描电子显微镜 激光衍射仪 椭偏仪 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27583 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘洪兴,张巍,巩岩. 光栅参数测量技术研究进展[J]. 中国光学,2011(02):103-110. |
| APA | 刘洪兴,张巍,&巩岩.(2011).光栅参数测量技术研究进展.中国光学(02),103-110. |
| MLA | 刘洪兴,et al."光栅参数测量技术研究进展".中国光学 .02(2011):103-110. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 光栅参数测量技术研究进展.caj（428KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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